第129章 第一片工业化芯片
第129章第一片工业化芯片
李国成把光刻胶涂抹在氧化后的晶圆上,用一个局部真空的吸盘固定住晶圆中心,提起来放入手心轻轻转动,利用离心力把光刻胶均匀地布满整个平面。
完成这一步操作后,李国成暗暗决定,实验完成一定要制造一个甩胶机。还用手转动甩胶,太LOW了。
但是在外人看来,李国成的每一个动作都是非常自信,驾轻就熟,隐有韵律。这可能就是长期修改的好处吧,不经意间就装了个大X。
由于涂抹的光刻胶太薄,静置十几分钟就会干透。
趁着这个空挡,李国成走到光刻机旁边,在底座托盘上放上一片同样规格的晶圆,再一次调整焦距到最佳状态,然后转动紫光部分移动手柄,模拟紫外光刻印一个一个晶圆方格,确定最佳走行距离和最为经济的光刻距离。
完成不知第几次的模拟后,各种参数记在心田。
来到刚才晶圆前,放出念力,检查光刻胶已经干透。用带着橡胶手套的双手捧起晶圆,放入托盘中,四周固定。
启动紫外光,掩膜版上的图形清晰地刻印在指定的方格内,静等9分钟后,在念力中,紫光照射中的光刻胶化学反应完成,并凝固。这样就能保证刻蚀时,留存光刻胶覆盖的晶圆部分。
关闭紫光,拿出晶圆,用放大镜观察。其实这一步是做给外边人看的,只是个样子。实际上在念力的探查下,已经确定光刻机和光刻胶都达到了设计预期。
重新固定好晶圆,按照由上到下,由右到左的顺序,逐个方格刻印。很块就完成了32个收音机专用芯片的刻印。
取下晶圆,来到刻蚀机旁边,首先浸入第一个液体箱,这一次依据验证时的数据,等待30分钟后又延长了2分钟,取出。
其实整个过程都在李国成的念力监控中,延长的2分钟,就是他根据当前去情况调整的。
在大玻璃后面记录的周晓娟,皱了一下眉头,没有说话,只是重点标注了的时间。
放入第二个液体中,这一次的时间没有调整,刚好12分钟。
但是在清洗这个过程中,比之前的工艺多出了5分钟。
下一步是烘干,只是一个非常简易的电热丝加热。很快就完成。
接下来又是繁琐的手工工作,但是这对于有念力的李国成来说反而最没有挑战,不到20分钟就在各个位置放好了需要掺杂的原料。
为了不惊世骇俗,李国成故意又比划了30分钟。至于以后谁负责这道工序,李国成只能为他祈祷了。
没有自动机器,这个工作需要在放大镜下面操作,反复确认后才会再添加一点,直到满足要求。李国成不使用放大镜,是因为在过去两年内,早就展示过他那强大的眼力和控制力。
再次确认没有问题后,把晶圆放入真空扩散炉。
不久之后,李国成拿着晶圆走了出来,大家非常想围拢过来,但是事先提醒过,所以大家让开一个大大的空间。
李国成装模做样地在光学放大镜下认真检查每一个刻蚀后的方格,发现只有两片有瑕疵,其他完全符合设计预期。
然后他来到切割机旁边,非常熟练的完成了32块芯片的切割。这款切割机李国成重新调整电机,并手动制作出线锯绳后,只要操作得当,很少再损坏晶圆。
拿出那两片有瑕疵的芯片,递给了李主任。看着他犹豫的动作,李国成赶忙解释:“没事,这两片是次品,大家可以直接上手看”。
李怀德接过芯片,把另一片递给了吴连奎,顿时在稍稍远离李国成所在工作台的地方,形成两个人团,大家都兴致盎然地想了解芯片的真容。
在大家把玩的过程中,李国成坐着封装台前,拿过DIP-16的模具和基座,开始了连线和封装工作。
大家见识过芯片核心后,又齐刷刷地看着李国成封装芯片,虽然大家只能看到一个侧面,但是兴趣不减。
30片芯片封装完成后,李国成把大家叫过去,要过一片次品,在大家的近距离围观下,完成了芯片的封装,终于满足了大家的好奇心。
测试非常简单,之前所有流程都是在李国成的念力监控下,其实测试就是一个过场。
果真如此,30片芯片全部测试通过。
周晓娟好奇,把那片次品也进行了测试,居然全部满足测试指标。李国成才意识到,他的标准定的有点高了。
大家立马来了兴趣,齐齐建议李国成完成另一片的封装。没有办法,他现在也自我否定了,还怎么拒绝。但是结果却是不理想,测试没有通过。
大家齐齐分析,谁谁谁手重了,谁谁谁用手摸了。。。。
“好了,大家静一静”,李怀德,适时阻止了大家的争论。
“今天是里程碑的一天,是我们轧钢厂工业化芯片制造走出的第一步,也是最为坚定一步。更是我们华夏第一片可以用于服务于人民日常生活的芯片。标志着我们芯片技术走向了世界前列,是献给祖国最好的生日礼物”,李怀德越讲越大声,右手挥动地越来越有力。
李怀德话音还没有落下,无尘车间里就传出了雷鸣般的欢呼声和掌声。
“我们是世界前列,不,很快就是世界第一”,这是年轻人的轻狂。
“我们实验室太厉害了,李副主任太厉害了,都没有想到我们做到这一点”,这是不配拥有名字的新人说的。这么真诚的人,是不是考虑给他起个名字。
“两年,小李的成长太快了”,这是王工的感叹。
“要不要再考虑考虑”,这是红着脸的周晓娟的心里话。
“这是我永远需要抱紧的大腿”,闫解放双眼坚定。
“老李,你们的儿子出息了!老了老了,现在我也跟着他混了”,这是张头的感慨。
。。。。。。。
大部分人离开后,无尘车间里只留下了李怀德、李国成和吴连奎。
“老规矩,我们都动起来,小李去找赵老爷子汇报,小吴你去找你家老头子,我去找老领导。这一次,我们谁都挡不住我们轧钢厂的崛起”,李怀德信心爆棚。
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其实芯片制造非常复杂,工艺多达上百个,为了不让大家出戏,就尽量压缩,让非科班出生的书友也能有一个基本的认知。
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李国成把光刻胶涂抹在氧化后的晶圆上,用一个局部真空的吸盘固定住晶圆中心,提起来放入手心轻轻转动,利用离心力把光刻胶均匀地布满整个平面。
完成这一步操作后,李国成暗暗决定,实验完成一定要制造一个甩胶机。还用手转动甩胶,太LOW了。
但是在外人看来,李国成的每一个动作都是非常自信,驾轻就熟,隐有韵律。这可能就是长期修改的好处吧,不经意间就装了个大X。
由于涂抹的光刻胶太薄,静置十几分钟就会干透。
趁着这个空挡,李国成走到光刻机旁边,在底座托盘上放上一片同样规格的晶圆,再一次调整焦距到最佳状态,然后转动紫光部分移动手柄,模拟紫外光刻印一个一个晶圆方格,确定最佳走行距离和最为经济的光刻距离。
完成不知第几次的模拟后,各种参数记在心田。
来到刚才晶圆前,放出念力,检查光刻胶已经干透。用带着橡胶手套的双手捧起晶圆,放入托盘中,四周固定。
启动紫外光,掩膜版上的图形清晰地刻印在指定的方格内,静等9分钟后,在念力中,紫光照射中的光刻胶化学反应完成,并凝固。这样就能保证刻蚀时,留存光刻胶覆盖的晶圆部分。
关闭紫光,拿出晶圆,用放大镜观察。其实这一步是做给外边人看的,只是个样子。实际上在念力的探查下,已经确定光刻机和光刻胶都达到了设计预期。
重新固定好晶圆,按照由上到下,由右到左的顺序,逐个方格刻印。很块就完成了32个收音机专用芯片的刻印。
取下晶圆,来到刻蚀机旁边,首先浸入第一个液体箱,这一次依据验证时的数据,等待30分钟后又延长了2分钟,取出。
其实整个过程都在李国成的念力监控中,延长的2分钟,就是他根据当前去情况调整的。
在大玻璃后面记录的周晓娟,皱了一下眉头,没有说话,只是重点标注了的时间。
放入第二个液体中,这一次的时间没有调整,刚好12分钟。
但是在清洗这个过程中,比之前的工艺多出了5分钟。
下一步是烘干,只是一个非常简易的电热丝加热。很快就完成。
接下来又是繁琐的手工工作,但是这对于有念力的李国成来说反而最没有挑战,不到20分钟就在各个位置放好了需要掺杂的原料。
为了不惊世骇俗,李国成故意又比划了30分钟。至于以后谁负责这道工序,李国成只能为他祈祷了。
没有自动机器,这个工作需要在放大镜下面操作,反复确认后才会再添加一点,直到满足要求。李国成不使用放大镜,是因为在过去两年内,早就展示过他那强大的眼力和控制力。
再次确认没有问题后,把晶圆放入真空扩散炉。
不久之后,李国成拿着晶圆走了出来,大家非常想围拢过来,但是事先提醒过,所以大家让开一个大大的空间。
李国成装模做样地在光学放大镜下认真检查每一个刻蚀后的方格,发现只有两片有瑕疵,其他完全符合设计预期。
然后他来到切割机旁边,非常熟练的完成了32块芯片的切割。这款切割机李国成重新调整电机,并手动制作出线锯绳后,只要操作得当,很少再损坏晶圆。
拿出那两片有瑕疵的芯片,递给了李主任。看着他犹豫的动作,李国成赶忙解释:“没事,这两片是次品,大家可以直接上手看”。
李怀德接过芯片,把另一片递给了吴连奎,顿时在稍稍远离李国成所在工作台的地方,形成两个人团,大家都兴致盎然地想了解芯片的真容。
在大家把玩的过程中,李国成坐着封装台前,拿过DIP-16的模具和基座,开始了连线和封装工作。
大家见识过芯片核心后,又齐刷刷地看着李国成封装芯片,虽然大家只能看到一个侧面,但是兴趣不减。
30片芯片封装完成后,李国成把大家叫过去,要过一片次品,在大家的近距离围观下,完成了芯片的封装,终于满足了大家的好奇心。
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周晓娟好奇,把那片次品也进行了测试,居然全部满足测试指标。李国成才意识到,他的标准定的有点高了。
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大家齐齐分析,谁谁谁手重了,谁谁谁用手摸了。。。。
“好了,大家静一静”,李怀德,适时阻止了大家的争论。
“今天是里程碑的一天,是我们轧钢厂工业化芯片制造走出的第一步,也是最为坚定一步。更是我们华夏第一片可以用于服务于人民日常生活的芯片。标志着我们芯片技术走向了世界前列,是献给祖国最好的生日礼物”,李怀德越讲越大声,右手挥动地越来越有力。
李怀德话音还没有落下,无尘车间里就传出了雷鸣般的欢呼声和掌声。
“我们是世界前列,不,很快就是世界第一”,这是年轻人的轻狂。
“我们实验室太厉害了,李副主任太厉害了,都没有想到我们做到这一点”,这是不配拥有名字的新人说的。这么真诚的人,是不是考虑给他起个名字。
“两年,小李的成长太快了”,这是王工的感叹。
“要不要再考虑考虑”,这是红着脸的周晓娟的心里话。
“这是我永远需要抱紧的大腿”,闫解放双眼坚定。
“老李,你们的儿子出息了!老了老了,现在我也跟着他混了”,这是张头的感慨。
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